最新資訊
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- 2 高純石墨坩堝的“壽命密碼”
- 3 石墨坩堝“延年益壽”
- 4 高純石墨坩堝，石墨坩堝，高精密石墨坩堝，石墨坩堝加工，石墨匣缽坩堝，石墨坩堝加工廠，精密石墨坩堝，高純石墨坩堝加工，石墨坩堝生產(chǎn)廠家，高純石墨坩堝生產(chǎn)廠家
- 5 石墨坩堝，高純石墨坩堝，石墨坩堝加工，石墨匣缽坩堝，高純石墨坩堝，分析儀器石墨坩堝，光譜純石墨坩堝，石墨坩堝加工廠，石墨坩堝生產(chǎn)廠家，高純石墨坩堝加工廠
- 6 高純石墨坩堝的性能優(yōu)勢(shì)
- 7 高純石墨坩堝雖強(qiáng)度高于普通石墨制品
- 8 高純石墨坩堝雖以“耐高溫、抗腐蝕”著稱
- 9 高純石墨坩堝的“生存法則”：這3類環(huán)境能“續(xù)命”
- 10 高純石墨坩堝看似簡(jiǎn)單，實(shí)則是高溫熔煉中的 “精密工具”
- 11 選高純石墨坩堝不能只看價(jià)格，關(guān)鍵要匹配自己的工況
- 12 高純石墨坩堝的適用領(lǐng)域
用于真空爐石墨部件的防護(hù)方法
發(fā)布作者：jcadmin 發(fā)布時(shí)間：2024年04月03日
用于真空爐石墨部件的防護(hù)辦法
本發(fā)明觸及一種用于真空爐石墨部件的防護(hù)辦法，該防護(hù)辦法包括:
1)對(duì)真空爐石墨部件進(jìn)行拋光打磨,使真空爐石墨部件的表面粗糙度抵達(dá)0.5mm以下；
2)將拋光打磨后的真空爐石墨部件放入CVD爐內(nèi)；
3)設(shè)定CVD爐內(nèi)的溫度和壓力，向CVD爐內(nèi)通入甲烷和氮?dú)饣蛟S通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，畢竟在石墨部件表面堆積一層熱解石墨涂層或熱解氮化硼涂層。
本發(fā)明經(jīng)過(guò)在真空爐石墨部件表面涂覆一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層，一方面可以避免石墨粉塵蒸發(fā)出來(lái)污染反響腔室，然后行進(jìn)產(chǎn)品的純凈度；另一方面可以維護(hù)真空爐石墨部件，延伸真空爐石墨部件的使用壽命，下降企業(yè)本錢(qián)。
